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WASCO開關UC9 系列產(chǎn)品介紹
來源：網(wǎng)絡 閱讀：965 發(fā)布時間：2024-08-27 17:10:24
WASCO開關UC9 系列產(chǎn)品介紹

Wasco的UC9系列開關是一種專為低壓應用設計的超高純度和耐腐蝕開關。

UC9系列開關的額定應用周期超過2,000,000次，并提供滿足或超過SEMI F20 UHP要求的可用材料選項。根據(jù)SEMI F1標準，所有開關均經(jīng)過氦氣泄漏測試。此外，UC9系列開關的內表面光潔度達到了5Ra，進一步增強了其耐腐蝕性和防泄漏性能。

性能特點：

高精度：具有高的精度和非常小的公差，能夠準確地檢測和控制壓力。

長壽命：額定應用周期超過 200 萬次，適用于長期穩(wěn)定的工作環(huán)境。

符合行業(yè)標準：材料選擇滿足或超過 SEMI F20 UHP 要求，并且所有開關都經(jīng)過氦泄漏測試，達到≤1x10-9 標準立方厘米 / 秒，符合半導體行業(yè)等對高純度和低泄漏的嚴格要求。

產(chǎn)品參數(shù)

激活點范圍：20 至 200 Torr（壓力abs)

復位帶：10 Torr + 啟動點的 6 %（典型值）

激活點公差：+/- 5 Torr +2 %激活點（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆破壓力：1000 PSIG Min 

工藝接口：316L SS 

符合標準：SEMI F20 UHP 

工作溫度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)

非工作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

預期壽命：≥ 1,000,000 次 95B2（視應用而定）

防護等級：IP 67（Abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

Max額定電流：1 A

交流/直流電壓：115/ 28 V

應用領域：氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)等。