KMLabs的QM量子顯微鏡是一種創(chuàng)新的光子成像解決方案,結(jié)合了飛秒激光器的時(shí)間敏感性和極紫外(EUV)顯微鏡及衍射光學(xué)系統(tǒng)的空間分辨率,適用于科研和工業(yè)領(lǐng)域的尖端研究。該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)損成像和高分辨率的納米級(jí)材料研究,特別是在電池材料和半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用中表現(xiàn)出色。
QM量子顯微鏡具備多種配置選項(xiàng),包括可選的激光源(EUV和/或VUV)、放大器以及定制的光束線和成像工作站,使其能夠覆蓋廣泛的納米/量子材料研究需求。此外,該顯微鏡還支持多用途束線和泵浦探頭設(shè)計(jì),能夠擴(kuò)展至VUV范圍,適用于專注領(lǐng)域研究和產(chǎn)品供應(yīng)。
-集成的高性能超快EUV激光源
-高分辨率干涉測(cè)量表面和亞表面成像
-x/y空間分辨率小于20 nm
-具有可配置終端站的多用途束線
-泵浦探頭(XUV泵浦/ IR探頭)設(shè)計(jì)
-可擴(kuò)展至VUV(60-150 nm或8.3至20.7 eV)