在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，納米級(jí)精度可以決定產(chǎn)品的成敗，光學(xué)濾光片起著至關(guān)重要但經(jīng)常被忽視的作用。在 Chroma Technology，我們了解光學(xué)濾光片的質(zhì)量直接影響檢測(cè)過程的準(zhǔn)確性，并最終影響半導(dǎo)體的性能。

Chroma：您的半導(dǎo)體檢測(cè)合作伙伴

我們專門制造先進(jìn)的光學(xué)濾光片，旨在滿足半導(dǎo)體檢測(cè)的嚴(yán)格要求，包括以下濾光片：

缺陷檢測(cè)：檢測(cè)和分類晶圓表面的缺陷對(duì)于保持半導(dǎo)體的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。我們的過濾器可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)，確保最終產(chǎn)品中的缺陷最少。

基于激光的檢測(cè)：基于激光的檢測(cè)技術(shù)（包括測(cè)量熱導(dǎo)率和電阻）依賴于高質(zhì)量的光學(xué)濾光片。Chroma 的濾光片可確保準(zhǔn)確可靠的測(cè)量，這對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體性能至關(guān)重要。

材料特性：了解半導(dǎo)體制造中使用的材料的特性至關(guān)重要。我們的過濾器有助于詳細(xì)表征材料，提供有關(guān)材料質(zhì)量和性能的寶貴見解。

疊層精度檢測(cè)：在半導(dǎo)體制造中，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的疊層精度至關(guān)重要，以確保連續(xù)層對(duì)齊。色度濾鏡可幫助您在檢測(cè)和糾正疊層偏差方面實(shí)現(xiàn)高的精度。

顆粒檢測(cè)：準(zhǔn)確的顆粒檢測(cè)對(duì)于避免污染和確保產(chǎn)品的使用壽命和可靠性至關(guān)重要。Chroma 的過濾器旨在提高顆粒檢測(cè)系統(tǒng)的靈敏度和準(zhǔn)確性。

亞表面檢查：利用短波紅外 (SWIR) 范圍來查看各層并發(fā)現(xiàn)隱藏的缺陷。我們的濾光片提供檢測(cè)可見光譜中看不見的問題所需的光譜性能。

雖然這些應(yīng)用代表了我們?cè)诎雽?dǎo)體檢測(cè)方面的一些核心優(yōu)勢(shì)，但我們的專業(yè)知識(shí)遠(yuǎn)不止這些領(lǐng)域。無論您的半導(dǎo)體檢測(cè)需求是什么，我們都致力于開發(fā)專業(yè)的光學(xué)濾鏡解決方案，突破精度和性能的界限。色度濾鏡具有一系列優(yōu)勢(shì)，包括：

精確的波長選擇

在半導(dǎo)體檢測(cè)中，隔離和分析特定波長的光的能力對(duì)于檢測(cè)精細(xì)的細(xì)節(jié)和細(xì)微的缺陷至關(guān)重要。色度濾光片提供光線控制，其功能旨在增強(qiáng)您的檢測(cè)能力：

• 高傳輸率，實(shí)現(xiàn)最大信號(hào)強(qiáng)度
• 深度阻斷，降低噪音，提供全范圍帶外阻斷
• 陡峭邊緣，增強(qiáng)光譜鑒別能力
• 可定制帶寬，從超窄、一埃寬的帶寬到跨越數(shù)百納米的帶寬

這些功能可以實(shí)現(xiàn)從高度選擇性的基于激光的測(cè)量到半導(dǎo)體特性的廣譜分析的一切，為您提供檢查過程所需的多功能性。

光學(xué)性能

除了波長選擇之外，濾光片的整體光學(xué)性能對(duì)半導(dǎo)體檢測(cè)的準(zhǔn)確性和可靠性也起著至關(guān)重要的作用。我們的濾光片經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，可滿足并超越行業(yè)的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)：

• 高的圖像質(zhì)量，反射和透射波前失真低
• 低相位延遲，適用于偏振敏感應(yīng)用
• 高耐用性，適用于苛刻的工業(yè)環(huán)境

憑借這些先進(jìn)的功能，Chroma 濾光片為您的半導(dǎo)體檢測(cè)需求提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，使您能夠突破質(zhì)量控制、工藝優(yōu)化和材料特性方面的極限。

不同用例的濾光片選項(xiàng)

我們?cè)跒榘雽?dǎo)體應(yīng)用創(chuàng)建濾光片方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，包括：

• 單波段和多波段帶通濾光片：選擇特定波長范圍進(jìn)行有針對(duì)性的檢查。
• 光束組合器和分束器：劃分光束以同時(shí)進(jìn)行多路徑分析。
• 二向色鏡和多向色鏡：反射特定波長，同時(shí)傳輸其他波長。將光分成不同的波長帶。
• 長波通濾光片和短波通濾光片：通過較長或較短的波長，同時(shí)阻擋相反的波長，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的光譜分離。
• 陷波抑制濾光片：阻擋特定波長，允許其他波長通過。

這些濾光片類型僅代表我們?cè)诎雽?dǎo)體領(lǐng)域能力的一小部分。我們豐富的經(jīng)驗(yàn)使我們能夠滿足半導(dǎo)體檢查和制造過程中的各種光學(xué)過濾需求。