一、核心原理與技術(shù)
哈特曼-夏克(Hartmann-Shack)技術(shù):利用微透鏡陣列將光束分割為多個(gè)子光束,通過(guò)CCD或CMOS探測(cè)器測(cè)量各子光束的焦點(diǎn)偏移量,計(jì)算波前斜率,進(jìn)而重構(gòu)波前相位。該技術(shù)具有實(shí)時(shí)性強(qiáng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)、激光檢測(cè)等領(lǐng)域。
四波橫向剪切干涉測(cè)量術(shù)(QWLSI):通過(guò)剪切干涉原理實(shí)現(xiàn)超高分辨率波前測(cè)量,支持消色差設(shè)計(jì),可適應(yīng)多波長(zhǎng)光源測(cè)量。
動(dòng)態(tài)交變剪切干涉技術(shù):通過(guò)旋轉(zhuǎn)光柵調(diào)制光強(qiáng),實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)波前檢測(cè),具有信噪比高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn),但存在光能損耗多、運(yùn)動(dòng)部件限制等不足。
二、核心功能與優(yōu)勢(shì)
1.高精度相位重建:
分辨率:最高可達(dá)400×300像素,實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)波前畸變檢測(cè)。
動(dòng)態(tài)范圍:支持高發(fā)散光束直接檢測(cè),發(fā)散角超過(guò)20°,突破傳統(tǒng)傳感器限制。
消色差設(shè)計(jì):匹配CCD探測(cè)范圍,無(wú)需針對(duì)不同波長(zhǎng)單獨(dú)校準(zhǔn),支持多色光源測(cè)量。
2.實(shí)時(shí)波前反饋:
為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)提供實(shí)時(shí)波前數(shù)據(jù),支持變形鏡等校正元件的動(dòng)態(tài)調(diào)整。
采樣頻率:最高可達(dá)60fps,滿足高速動(dòng)態(tài)場(chǎng)景需求。
3.多場(chǎng)景應(yīng)用支持:
激光系統(tǒng)優(yōu)化:量化分析激光束的波前像差,優(yōu)化光束質(zhì)量。
光學(xué)元件檢測(cè):測(cè)量透鏡、反射鏡等元件的面形誤差與裝調(diào)偏差。
生物成像:支持定量相位成像,應(yīng)用于細(xì)胞觀測(cè)等微觀領(lǐng)域。
天文探測(cè):補(bǔ)償大氣湍流引起的波前畸變,提升望遠(yuǎn)鏡成像分辨率。
三、應(yīng)用案例
1.激光束質(zhì)量分析:
中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所采用Phasics SID4系列,實(shí)現(xiàn)激光束波前像差的亞微米級(jí)檢測(cè),優(yōu)化激光切割精度,提升工業(yè)加工效率。
2.自適應(yīng)光學(xué)校正:
歐洲南方天文臺(tái)(ESO)在8m級(jí)望遠(yuǎn)鏡中部署OCam2高速EMCCD,通過(guò)實(shí)時(shí)波前反饋補(bǔ)償大氣湍流,將成像分辨率提升至接近衍射極限。
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