高穩(wěn)定性
納米和亞納米范圍內(nèi)的高分辨率
運動高達40 µm
運動無機械間隙
輕松且通用的調(diào)整
集成的預(yù)緊力實現(xiàn)動態(tài)運動
高共振頻率
可與其他PU壓電系統(tǒng)組合
適用于1D,2D和3D系統(tǒng)的通用應(yīng)用程序
真空兼容版本
PU系列執(zhí)行器僅由一個金屬部件組成。這意味著它們具有出色的機械穩(wěn)定性,并且可以動態(tài)工作。該平移臺通過施加-20到130 V的電壓信號顯示出幾乎線性的運動。PU系列的壓電臺可以組合用于XYZ 3D運動系統(tǒng)?;緭闲云脚_配有安裝螺紋。每個壓電系統(tǒng)都配有用于多軸配置的必要螺釘和零件。