產(chǎn)生力達600 N
保持力至800 N
行程20 mm
集成式直接測量線性編碼器,分辨率為5 nm
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性,機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。
PiezoWalk行進驅(qū)動器具有納米級精度和高進給力
多個壓電執(zhí)行器在PiezoWalk行進驅(qū)動器中執(zhí)行行進運動,從而導致行進向前進給。致動器的控制允許更小的步進和正向進給運動,分辨率遠低于1納米。
適用于復雜的真空應用
PI的壓電電機可以設計用于真空環(huán)境,適合在強磁場中運行。為此可以使用特殊版本的驅(qū)動器。PiezoWalk驅(qū)動器還可用于無塵室或紫外線強烈的環(huán)境中。