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產(chǎn)品介紹
快速，精確，準確地測量小樣本和大樣本
315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域
用戶友好的概念
復雜的分析和自動化軟件
CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運動系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時間減至最少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了無與倫比的分辨率。利用多傳感器技術，可以同時安裝多個傳感器頭，包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。
典型的應用是印刷過程的分析和質(zhì)量控制，例如PV太陽能電池，基板材料的進料檢查，各種基板上的厚膜測量，漿料倉庫，環(huán)氧膜，點或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量（如焊料凸塊，微透鏡和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應用。由于CT 300在整個行程中保持高精度，因此可以快速而精確地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。
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