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光學(xué)檢測設(shè)備

品牌標(biāo)簽

ALNAIR

ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

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品牌名稱：ALNAIR
規(guī)格型號：SIT-200

產(chǎn)品介紹

用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器

高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面

能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量

SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進(jìn)行更高功率的測量，從而實(shí)現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。