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LynceeTec全息顯微鏡Reflection DHM

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  • 品牌名稱(chēng)：LynceeTec
  • 規(guī)格型號(hào)：Reflection DHM
產(chǎn)品介紹

Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測(cè)量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面（反射率低至1%以下），是對(duì)各種樣品進(jìn)行準(zhǔn)確光學(xué)形貌測(cè)量的理想儀器。

性能特點(diǎn)
  • 高采集率和易用性
  • 實(shí)現(xiàn)快速常規(guī)檢查、自動(dòng)化工業(yè)質(zhì)量控制以及創(chuàng)新的研發(fā)應(yīng)用，尤其是動(dòng)態(tài)觀測(cè)
  • DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
  • 每個(gè)DHM都可以用自己的結(jié)構(gòu)來(lái)固定，或者只作為一個(gè)頭，安裝在其他結(jié)構(gòu)或生產(chǎn)線上
  • DHM可與多種可選的電動(dòng)載物臺(tái)兼容
  • 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統(tǒng)
選型指南

有三種可用配置，由波長(zhǎng)的數(shù)量和組合定義：

R-1000系列：?jiǎn)渭す庠?/p>

R-2100系列：雙激光源

R-2200系列：三個(gè)激光源

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品：瑞士

配置：?jiǎn)渭す庠?/p>

特異性：?jiǎn)尾ㄩL(zhǎng)

測(cè)量模式：?jiǎn)尾ㄩL(zhǎng)

分辨率：亞納米

測(cè)量：實(shí)時(shí)

精度（通過(guò)在30次測(cè)量中對(duì)1個(gè)像素進(jìn)行時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)偏差來(lái)證明）：0.15 nm

垂直分辨率（定義為精度的兩倍）：0.30 nm

重復(fù)性（通過(guò)在SiC參考鏡上進(jìn)行30次重復(fù)性測(cè)量的一sigma Rq值來(lái)證明）：0.01 nm

垂直測(cè)量范圍（無(wú)任何掃描）：連續(xù)結(jié)構(gòu)可達(dá)200μm

帶銳邊臺(tái)階的高度（取決于激光源和工作波長(zhǎng)）：max. 333 nm

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