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TESCAN顯微鏡S9000G

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  • 品牌名稱：TESCAN
  • 規(guī)格型號：S9000G
產品介紹

TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統(tǒng)，旨在進行先進的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰(zhàn)性的制造任務，這些任務需要分辨率以及新的離子光學和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱，具有高分辨率和優(yōu)異的性能，改進了束內檢測系統(tǒng)，具有過濾電子信號收集功能，為新的對比度和增強的表面靈敏度打開了窗口。TESCAN S9000G配備Orage FIB柱，不僅在制造精度方面達到高標準，而且可以使用高離子束電流；從而使進行大體積樣品分析成為可能。此外，高達100nA的高離子束電流能夠以優(yōu)異的對比度對生物樣本和材料進行特定位置的大體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新的Essence軟件接口控制，該接口具有易于學習、面向應用和可定制的布局，以及具有樣品制備自動化功能的軟件模塊。所有功能都旨在輕松實現(xiàn)控制和大吞吐量。

性能特點
  • 優(yōu)異的樣品制備質量
  • 大限度地制備各類樣品
  • 更充分的利用離子束
  • 更加優(yōu)異的成像能力
  • 快速三維分析功能
  • 增強的表面靈敏度、襯度
技術參數(shù)
  • 產地：捷克
  • 電子光學：
  • 電子光學：配備三透鏡復合TriLens物鏡的Triglav柱
  • 電子槍：高亮度肖特基發(fā)射極
  • 最大視野：
  • WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
  • 電子束能量：使用BDT選項，200 eV至30 keV/降至50 eV
  • 探針電流：2 pA至400 nA
  • 離子光學：
  • 離子柱：Orage Ga-FIB柱
  • 離子槍：Ga液態(tài)金屬離子源
  • 離子束能量：0.5 keV至30 keV
  • 探針電流：<1 pA至100 nA
  • 分辨率：30keV時＜2.5 nm（在SEM-FIB重合點）
  • SEM-FIB角度：55°
產品應用
  • 半導體器件的物理失效分析
  • 生物標本的FIB-SEM斷層掃描

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