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產(chǎn)品介紹
XENOS XeMove載物臺(tái)使用先進(jìn)的激光測(cè)量系統(tǒng)和超聲波壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，結(jié)合我們的光刻系統(tǒng)（測(cè)量分辨率為10nm），可獲得優(yōu)于100nm的縫合和覆蓋精度。
XeMove：電子束光刻平臺(tái)
緊湊的設(shè)計(jì)允許用作子階段或更換階段，只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且完全非鐵磁的。緊湊的設(shè)計(jì)包括激光測(cè)量系統(tǒng)和壓電驅(qū)動(dòng)部件。軸上測(cè)量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。
性能特點(diǎn)
- 集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中不需要復(fù)雜且昂貴的腔室修改。
- 測(cè)量系統(tǒng)不需要激光視口，載物臺(tái)電機(jī)不需要機(jī)械饋通，所有有源部件都放置在真空室內(nèi)，并通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)電氣饋通進(jìn)行電子控制。
- 對(duì)于某些腔室設(shè)計(jì)（例如JEOL JSM-7xxx），載物臺(tái)可以通過(guò)負(fù)載鎖插入，并通過(guò)腔室內(nèi)的特殊電ZIF觸點(diǎn)連接。
- 當(dāng)平臺(tái)停止時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)斷電，位置被機(jī)械鎖定，從而將總功耗降至更低，防止加熱和相關(guān)漂移。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國(guó)
類型：電子束光刻平臺(tái)
測(cè)量分辨率：10nm
行程范圍：55mm到120mm
縫合精度：優(yōu)于100nm
覆蓋精度：優(yōu)于100nm
激光視口：不需要
機(jī)械饋通：不需要
觸點(diǎn)連接：ZIF
兼容：高真空
組件：非鐵磁
部件驅(qū)動(dòng)：壓電
津公網(wǎng)安備12010102000950號(hào)