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OPTORUN光學鍍膜機OTFC-900CBI/DBI

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  • 品牌名稱：OPTORUN
  • 規(guī)格型號：OTFC-900CBI/DBI
產品介紹

OTFC系列是用于生產紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。

性能特點
  • 真空室尺寸：Φ600-1800mm
  • 60點/80點式光學膜厚監(jiān)控
  • 使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
  • 搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
  • 利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
  • 工件架可選擇鐘罩式或行星式
  • 排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
技術參數(shù)

產地：日本

真空室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)

工件架：φ 790mm

工件架轉速：10 rpm to 30 rpm (可變)

光學膜厚控制：HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀

波長范圍350nm到1100nm

反射式/透射式可選

水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源：電子槍2套

離子源：10cm RF 離子源

排氣系統(tǒng)：機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）

達到壓力：7.0 × 10-5 Pa 以下

基板溫度：350℃

設備尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.

電源：3相,200v,50/60Hz, 約80KVA

水流量：80升/分以上

空氣壓力：0.5MPa 以上

重量：約5400kg

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