FQCW266激光器采用即插即用設計,用戶無需進行復雜的安裝和調試工作即可快速上手使用。這一設計大大縮短了激光器的部署時間,提高了工作效率。配備有控制單元,用戶可通過串行接口(RS232和USB)進行按鈕控制或遠程控制。這一功能使得用戶能夠靈活地調整激光器的參數,滿足不同的應用需求。內置諧振頻率轉換級,這一設計使得激光器能夠有效率地輸出固定波長為266nm的光。這一波長的光在紫外光譜范圍內,具有廣泛的應用價值,如材料加工、科學研究等。采用專用泵浦源,確保穩(wěn)定且有效率的能量輸入,從而輸出高質量的激光束。泵浦源的穩(wěn)定性對于激光器的長期運行和性能表現至關重要。
產地:德國
波長:266 ± 1 nm
輸出功率(可調性):1000 mW ± 5 % (100-1000 mW)
線寬:< 300 kHz
光束傳播因子M²:< 1.3,TEM00
光束質量 M²x(水平):< 1.2,TEM00
光束質量 M²y(垂直):< 1.35,TEM00
偏振方向和純度:> 500:1,垂直
光束直徑:1.0 ± 0.2 mm
光束發(fā)散度:< 0.45 mrad
光束指向穩(wěn)定性:< 3 μrad/K,< 3 μrad/h
靜態(tài)對準公差:橫向± 0.25 mm,角度 ± 2.5 mrad
光束指向穩(wěn)定性:± 200 μrad
功率穩(wěn)定性(8 小時內 0.5 Hz):< 0.2 % rms
強度噪聲(1 Hz – 100 kHz) :< 1 % rms
強度噪聲 (100 kHz – 250 MHz) :< 0.2 % rms
平均功耗(max):< 200 W (450 W)
線路電壓:90 – 250 V AC (50-60 Hz)
通信接口:USB / RS232 / 以太網
安全功能:鑰匙開關、聯鎖、電動快門
預熱時間:< 45 分鐘
晶點壽命(小時):1,000
總壽命(小時):清除 20.000 / 未清除 16.000
工作溫度(激光頭):20 – 25 °C(無冷凝)
激光頭尺寸:143 x 325 x 739 mm³(高 x 寬 x 長)
控制單元尺寸:184 x 483 x 411 mm³(高 x 寬 x 長)
激光頭重量:36 千克
控制器單元重量:12 千克
晶圓檢測